Niederdruckplasmen Und Mikrostrukturtechnik

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In diesem Buch werden zunachst die verschiedenen Typen von Plasmen ausfuhrlich beschrieben: Gleichstrom-Entladung, kapazitive und induktive Kopplung mit Radiofrequenz, die magnetfeldunterstutzte Anregung mittels Heliconwellen; schliesslich noch Ionenstrahlen. Breiten Raum nimmt dann die Plasmadiagnostik ein, die in einem separaten Kapitel mit vier Methoden exemplarisch vorgestellt wird. Daran anschliessend erfolgt eine umfassende Darstellung der beiden modernen Verfahren Sputtern und Trockenatzen, mit denen heute ...

Niederdruckplasmen Und Mikrostrukturtechnik 2012, Springer, Berlin

ISBN-13: 9783642622847

German
3rd Softcover Reprint of the Origi edition

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Niederdruckplasmen Und Mikrostrukturtechnik 2003, Springer, Berlin

ISBN-13: 9783540407652

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Niederdruckplasmen Und Mikrostrukturtechnik 1994, Springer

ISBN-13: 9783540573609

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